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电容式金属溅射薄膜压力传感器

简要描述:

电容式金属溅射薄膜压力传感器采用了金属溅射技术等半导体生产工艺,在金属膜片上形成应变桥路,消除了贴片式应变压力传感器因胶层引起的蠕变、老化等缺陷。该产品核心部件从欧美原装引进,整体采用电子束焊接,具有较高的温度使用范围,特别适合用于石油深井等领域的高温高压测量。

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   电容式金属溅射薄膜压力传感器采用了金属溅射技术等半导体生产工艺,在金属膜片上形成应变桥路,消除了贴片式应变压力传感器因胶层引起的蠕变、老化等缺陷。该产品核心部件从欧美原装引进,整体采用电子束焊接,具有较高的温度使用范围,特别适合用于石油深井和国防等领域的高温高压测量。

电容式金属溅射薄膜压力传感器产品特点

高温、高压、高可靠性

无隔离膜片和灌充液

抗电磁、射频干扰

大批量OEM应用可专门设计

 

电容式金属溅射薄膜压力传感器主要技术参数: 被测介质: 气体,液体及蒸气压力类型: 表压、绝压量程: 0 - 0.6~120 Mpa间任意可选输出 :1.2~1.8 mv/V综合精度: ±0.1%FS、±0.25%FS、±0.5%FS非线性: 0.06~0.1%FS迟滞: 0.02~0.05%FS重复性: 0.03~0.06%FS零点温漂: ±0.01%FS/℃灵敏度温漂: ±0.02%FS/℃供电: 5~15V DC输出阻抗: 1.5~3KΩ绝缘电阻: ≥1000 MΩ/100VDC工作温度: -40~+85125150℃可选过载能力: 150%FS电气连接: 高温引出线压力连接: M10×1双"O"圈密封或用户指定接液材料 膜片:17-4PH过程连接件1Cr18Ni9Ti相对湿度: 0~95% RH密封等级 :IP65

各种压力传感器对比
种类 优点 缺点 
扩散硅(压阻式) 1、精度高;2、小量程和绝压产品优于其它类型产品。 1、低于0℃高于40℃后温度稳定性能大幅度降低;2、膜片易损坏,温漂大;3、压力量程局限。 
厚膜陶瓷(压阻式) 1、成本低;2、抗腐蚀性能好;3、使用范围较扩散硅宽。 1、不稳定;2、压力下降时,回零难;3、精度差,膜片易碎。 
电容式 1、工艺成熟,稳定性较好;2、过载能力强,抗腐蚀性强。 1、成本很高;2、体积大,安装维护不方便。 
应变片(应变式) 1、成本低;2、成熟胶粘工艺。 1、手工生产,离散性大;2、漂移大,稳定性差。 
蓝宝石 1、精度高,温度范围宽;2、量程范围宽;3、体积小、重量轻。 1、成本高;2、工艺复杂技术要求高;3、敏感材料需要进口。 
原子薄膜(应变式) 1、精度高,温度范围宽;2、温漂小,稳定性好;3、体积小、重量轻; 1、成本高;2、不适合小量程和差压测量。 

 


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